Sifat:
• Tidak berwarna, tidak berbau, dan tidak berasa
• Lebih berat dari udara
• Tidak mudah terbakar dan lembam terhadap segala jenis material pada tekanan dan suhu berapapun
• Tidak beracun namun dapat menyesakkan nafas
• Titik didih -186°C
Spesifikasi:
99.999 vol%
Oxygen < 3 vpm
Nitrogen < 5 vpm
Moisture < 3 vpm
Aplikasi:
• Digunakan dalam industri semikonduktor sebagai gas pelindung dalam proses produksi silikon kristal
• Sebagai gas pelindung dalam pengelasan MIG dan TIG
• Untuk cutting gas plasma dan pelapis logam dengan material refraktori
• Pengisi ruang dalam jendela lapis
• Digunakan dalam industri lampu pijar sebagai pengisi ruang kaca lampu dan lampu fluoresens
• Pemurnian dehidrogenasi aluminium silikon, germanium, dll.
• Gas carrier dalam instrumen analisis